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輪廓測量系統(tǒng)

簡要描述:

輪廓測量系統(tǒng)Z1軸(檢出器)測量范圍60 mm(水平狀態(tài)±30mm)
Z1軸(檢出器)測長單元RT檢出器
Z1軸(檢出器)分辨力0.04μm
直線度(X軸水平姿勢)0.8μm/100 mm

更新時間:2020-07-31

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1. 輪廓測量系統(tǒng)測量規(guī)格

Z1軸(檢出器測量范圍

60 mm(水平狀態(tài)±30mm)

Z1軸(檢出器測長單元

RT檢出器

Z1軸(檢出器)分辨力

0.04μm

直線度(X軸水平姿勢)

 

0.8μm/100 mm 

指示精度

X1

 

±(0.8+0.01L)μm L為驅(qū)動長度(mm)

寬范圍1.8μm/100mm   窄范圍1.05μm/25mm

(20℃)

Z1(檢出器)

±(1.2+|2H|/100)μm

H:基于水平位置的測量高度(mm)

測針垂直動作

弧形移動

測量方向

 

 

推/拉方向

測量面方向

 

 

向上/ 向下

測力

 

 

30 mN

跟蹤角度

單切面測針SPH-71:

爬升角77°/下降角83°依表面粗糙度而定

測針針尖

單切面測針SPH-71:

角度12° 半徑25 μm  硬質(zhì)合金

行程限制功能

范圍:-29mm~+29mm

定位精度范圍:±1mm

輪廓測量系統(tǒng)?本體規(guī)

X軸測量范圍

100 mm

測長單元

X軸

STVC-10Z

Z2 (立柱)

ABSOLUTE 線性編碼器

分辨

X軸

0.05 μm

Z2 (立柱)

1 μm

X1 軸傾角范圍

 

±45°

Z2軸立柱移動范圍

 

500mm

驅(qū)動速度

X1

 

程控:0~80 mm/s   JOY操作:0~40 mm/s

Z2 (立柱)

程控:0~30 mm/s   JOY操作:0~30 mm/s

測量速度

 

 

0.02、0.05、0.1、0.2、0.5、1.0、2.0、5.0、10、20、30 mm/s※

檢出器交換

 

 

配有熱插拔功能:無需關閉控制器。

(輪廓檢出器需要初始化)

配有免工具 安裝/拆卸 機構(gòu)(指旋器鎖緊桿)

基座尺寸

 

600×450 mm

基座材料

 

 

花崗巖

外部尺寸:W*D*H)

主機

 

759×482×1166 mm

控制器

221×346×472 mm

操作盒

248×102×62 mm

質(zhì)量

主機

 

150 kg

控制器

14 kg

遙控箱

0.9 kg

精度保證范圍

19~21 ℃

精度保證溫度梯度

2 ℃/8h

使用溫度范圍

 

540℃(校正與測量的溫度范圍波動在±1℃以內(nèi)

使用濕度范圍

 

20~80 %RH 無凝結(jié)

保存溫度范圍

 

-10~50 ℃

保存濕度范圍

 

5~90 %RH 無凝結(jié)

通訊接口

 

USB

 

 

100~120V、200~240 V±10%、AC50/60 Hz

噪聲檢測

 

 

A計全聲壓級:不超過70 dB(A)

消耗功率

 

 

400 W

 

※:測量速度推薦在5mm/s以下。(過高的話,測針容易損,精度會受到工件表面幾何形狀的影響

 

包裝規(guī)格

 

包裝尺寸(W×D×H)

1000×750×1500mm

毛重

 

 

185kg

 

3.  附件

 

3-1. 主機標準附屬品

貨號

品名

備注

數(shù)量

355270

防塵罩

 

1

352637

潤滑油

Z2  (立柱)

1

538613

六角扳手 公稱值1.5

用于安裝輪廓測針

1

538614

六角扳手 公稱值2

用原裝粗糙度測針

1

——

運輸固定夾具

 

1套

12AAE675

配置盤

 

1

472730

保證書(大)

 

1

——

檢查成績書

 

1

12AAU499

本體控制器通訊電纜

 

1

12AAF187

鏈接電纜(USB)

 

1

12AAD806

CV電纜

 

1

12AAM101

測臂AB-31

 

1

354884

單切片測針 SPH-71

 

1

546-113

壓力表 DTG-10N

 

1

12BAL534

配重 1

 

1

12BAL535

配重 2

 

1

12BAL536

配重 3

 

1

355148

配重固定螺釘

 

1

12AAN047

保護臂

 

1

537976

吊掛螺栓

 

4

535002

蓋帽

 

4

12BAE998

保險絲 (已安裝1個)

φ5×20mm 250V 5A

2

12BAE997

保險管架

 

1

12BAM773

教學工件

 

1

12AAQ488

校正規(guī)(mm)

 

1

611676-021

量塊 60 mm 等級0

 

1

611671-021

量塊 10 mm 等級0

 

1

99MBB744A

用戶手冊

英文

1

99MBB745A

基本操作指南

英文

1

99MBB746A

如何使用介紹

英文

1

99MBB747M

安全標簽粘貼手冊

英文

1

02ZAA216

電擊警告標簽

 

1

02ZAA217

機器移動警告標簽

 

1

DC019-0305

CE 誓約書

 

1

 

 

 

 

 

 

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